电子厂房洁净度等级及规范参阅!

层流手术室 2024-03-30

  电子产品的种类十分之多,跟着微型化、精细化、高纯度、高质量和高牢靠的电子科技类产品种类的添加,需要在空气悬浮粒子受控环境中进行全过程出产或部出产的电子科技类产品主要有:各种半导体资料及其器材出产、集成电路出产、化合物半导体出产、光电子出产、薄膜晶体管液晶显示器(简称:TFT-LCD)出产、微硬盘驱动器(简称HDD)出产、等离子显示器(简称:PDP)出产、磁头和磁带出产、光导纤维出产、印制电路板等。

  各类产品的种类不同和出产的根本工艺不同,所要求的空气洁净度等级也不相同,因而各种电子科技类产品用洁净厂房规划时,出产环境的空气洁净度等级应根据出产的根本工艺要求确认。因为各种产品出产的根本工艺都各不相同,所以对空气洁净度等级、操控粒径均列出必定的规模供参阅,为阐明这些差异,下面罗列一些工程的实例供参阅:

  注:表中·为芯片出产设备配带微环境设备,设备内空气洁净度等级为1~2级!

  溅射出产区4级:0.1μm、23±1℃、45%±5%;拼装、测验等6级:0.3μm、23±2℃、45%±10%。

  (1)切带间、带基间、涂布间、固化间等6级:0.5μm、23±1℃、50±5%,其间,涂布间的头部要求5级。

  磁头装置、溅射烧结等要求4级(0.1μm),研磨、检测等要求5级(0.1μm),切开等要求6级。

  10.锂电池出产的干作业洁净出产区:6级、23℃;露点(DP)-30℃;拼装、测验洁净室(区):7级、23±2℃、≈20%。

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